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電子行業用超純水設備

  • 電子行業用超純水設備結合新的膜分離技術,常采用反滲透加離子交換系統(或EDI)相結合用來制備超純水。

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  電子行業用超純水設備結合新的膜分離技術,常采用反滲透加離子交換系統(或EDI)相結合用來制備超純水,該工藝與傳統工藝相比具有運行成本低的優點(離子交換器的再生周期大大延長),運行可靠。與新工藝相比具有造價低,耗材易得的優點。

  電子行業用超純水設備的工藝流程大致分成以下幾種

  1、采用EDI方式,其流程如下:

  原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點

  2、采用離子交換方式,其流程如下:

  原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點

  3、采用兩級反滲透方式,其流程如下:

  原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第一級反滲透 →PH調節→中間水箱→第二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

  三種制備電子行業用超純水設備的工藝比較

  目前制備電鍍行業用超純水的工藝基本上是以上三種,其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來。現將他們的優缺點分別列于下面:

  1、第一種采用離子交換樹脂其優點在于初投資少,占用的地方少,但缺點就是需要經常進行離子再生,耗費大量酸堿,而且對環境有一定的破壞性。

  2、第二種采用兩級反滲透設備,其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高,但無須樹脂再生。其缺點在于相關膜原件需定期清洗或更換,水質相對來說不是太高,大都只能做到1us/cm左右。

  3、第三種采用反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置,這是目前制取超純水經濟,環保的超純水制備工藝,不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水,對環境沒什么破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。

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